[发明专利]一种多波长光束处理装置及方法在审
| 申请号： | 202111200452.0 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN113946058A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王朋辉;李璟;陈进新;卢增雄;高斌;齐威 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B27/30;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种多波长光束处理装置，包括：至少一个光束处理子装置，光束处理子装置用于对多波长光束进行合束或分束处理，包括：一主光束准直器、至少两个分光束准直器及至少两个透反射组件，其中，当光束处理子装置用于多波长光束合束时，多波长的分光束分别经过对应的分光束准直器进行准直后，经过至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至主光束准直器进行合束并输出；当光束处理子装置用于多波长光束分束时，多波长的主光束经过主光束准直器进行准直后，经过对应的至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至对应的分光束准直器输出。本公开还提供了一种多波长光束处理方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 光束 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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