[发明专利]一种二维薄膜材料的转移方法、复合薄膜及其应用在审

专利信息
申请号: 202111208809.X 申请日: 2021-10-18
公开(公告)号: CN113929091A 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 刘舸;李元元 申请(专利权)人: 惠州学院
主分类号: C01B32/194 分类号: C01B32/194
代理公司: 广东知畔知识产权代理事务所(普通合伙) 44659 代理人: 叶敏明
地址: 516000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种二维薄膜材料的转移方法、复合薄膜及其应用,属于材料科学技术领域。其转移方法如下:单层或多层石墨烯在铜箔上生长成膜;在生长在铜箔表面的石墨烯薄膜上旋涂PMMA,厚度为10um‑100um;把铜箔置于亚硝酸铁或氯化铁溶液中浸泡24‑30小时腐蚀铜箔,溶液浓度5%‑10%,溶液温度在45℃‑60℃;剥离石墨烯和PMMA的复合薄膜,把剥离下来的复合薄膜转移到常温或冰水混合的去离子水中5‑10分钟,石墨烯表面凝结薄层水珠;通过吸嘴吸附石墨烯和PMMA的复合薄膜,直接转移到需要使用的衬底基板上。本发明能够避免待转移衬底与水的接触,降低了器件被污染的风险,提高了石墨烯薄膜的使用范围。
搜索关键词: 一种 二维 薄膜 材料 转移 方法 复合 及其 应用
【主权项】:
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