[发明专利]集成MEMS-CMOS超声波传感器在审
| 申请号： | 202111210016.1 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN114455538A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 穆斯塔法·索利曼 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02;G01D5/48;G06V40/13 |
| 代理公司： | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人： | 孙涛;毛威 |
| 地址： | 518045 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 描述了具有集成MEMS‑CMOS实施方式的超声波感测方法。实施例包括超声波传感器阵列，这些超声波传感器阵列中的各个检测器元件的PMUT结构至少部分地集成到CMOS ASIC晶圆中。MEMS加热元件通过在该CMOS晶圆中的这些PMUT结构之下和/或在这些PMUT结构之上(例如，在保护层中)集成来与这些PMUT结构集成。例如，实施例可以避免晶圆键合，并且可以减少PMUT超声波传感器的常规制作所涉及的其他后加工，同时还改善了热响应。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 mems cmos 超声波传感器 | ||
【主权项】：
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