[发明专利]超声换能器及其形成方法、控制方法有效
| 申请号： | 202111212025.4 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN113993048B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 王续博;刘悦 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 汤金燕 |
| 地址： | 200030 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开一种超声换能器及其形成方法和控制方法，所述超声换能器包括：形成于基底上的超声换能单元，所述超声换能单元包括：位于所述基底上的支撑层，所述支撑层内具有空腔；位于所述支撑层表面，且悬空于所述空腔上的压电振膜；位于所述压电振膜与所述基底之间的支撑层内的电容结构，所述电容结构包括：相对的上极板和下极板，至少部分空腔位于所述上极板和下极板之间。上述超声换能器的制备工艺简单，性能较高。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 换能器 及其 形成 方法 控制 | ||
【主权项】：
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