[发明专利]提升物理气相沉积反应炉良率的方法在审
| 申请号： | 202111212550.6 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN113913753A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 杨孟;刘飞;游志聪 | 申请（专利权）人： | 东莞美景科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C4/02;C23C4/123;C23C24/04;B24C1/06 |
| 代理公司： | 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 | 代理人： | 赵英杰 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了提升物理气相沉积反应炉良率的方法，包括以下步骤：对物理气相沉积反应炉的内壁、遮覆板和挡板进行喷砂清洁及粗化；将金属颗粒或粉末经金属喷涂技术喷涂在经过喷砂清洁的物理气相沉积反应炉的内壁、遮覆板的外表面和挡板的外表面上，并分别形成物理气相沉积的内壁金属喷涂层、遮覆板外表面金属喷涂层和挡板外表面金属喷涂层；当所述物理气相沉积的内壁金属喷涂层、遮覆板外表面金属喷涂层和挡板外表面金属喷涂层累积金属镀膜到一定程度后，去除金属镀膜。本发明具有成本低，设计合理，操作简便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 提升 物理 沉积 反应炉 方法 | ||
【主权项】：
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