[发明专利]一种提高THz-ATR成像分辨率及性能的装置及方法在审
申请号: | 202111213256.7 | 申请日: | 2021-10-19 |
公开(公告)号: | CN114062322A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 王与烨;王泽龙;徐德刚;姚建铨 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01N21/552 | 分类号: | G01N21/552 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 李林娟 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种提高THz‑ATR成像分辨率及性能的装置及方法,包括太赫兹辐射源发射的连续太赫兹波经斩波器变换为正弦波入射到太赫兹波分光镜并被分为两束:一束为反射光另一束为透射光作为探测样品信息的信号光依次经过第一太赫兹波反射镜、第一离轴抛物面镜、固体浸没ATR透镜、样品架并在样品架‑样品界面处发生全反射后从固体浸没ATR透镜出射,经第二离轴抛物面镜、第二太赫兹波反射镜后被第二太赫兹探测器接收。计算机控制样品架移动,采集太赫兹探测器接收的信号及数据的分析处理。本发明在显著提高衰减全反射式成像分辨率的同时还能解决传统衰减全反射式系统中焦点偏移导致的有效成像面积小这一问题,可以获得大尺寸样品的高灵敏度、高分辨率太赫兹成像。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 thz atr 成像 分辨率 性能 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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