[发明专利]一种含硅或硫的成膜树脂、光刻胶组合物有效
| 申请号： | 202111215044.2 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN113999340B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 聂俊;朱晓群;李三保;张宇蔚;孙芳 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃光敏电子材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/38;C08F230/08;G03F7/004;G03F7/075 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 马晓敏 |
| 地址： | 214213 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种含硅或硫的成膜树脂、光刻胶组合物，所述成膜树脂的共聚单体包括丙烯酸酯衍生物与丁烯酸酯衍生物；所述丁烯酸酯衍生物为含硅丁烯酸酯衍生物或含硫丁烯酸酯衍生物；所述含硅丁烯酸酯衍生物具有如下式(1)所示结构： |
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| 搜索关键词： | 一种 树脂 光刻 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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