[发明专利]超声换能器阵列及其形成方法有效
| 申请号： | 202111215531.9 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN114007175B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 王续博;刘悦 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 200030 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开一种超声换能器阵列及其形成方法，所述超声换能器阵列的组成单元包括：支撑层，所述支撑层内具有背腔；位于所述支撑层表面上与所述背腔位置相对的压电传感单元，以及位于所述压电传感单元顶部的活塞结构，所述活塞结构包括位于所述压电传感单元顶部的支撑柱以及由所述支撑柱支撑于所述压电传感单元上方的活塞板；位于所述支撑层的表面，围设于所述压电传感单元外围的气缸壁。所述超声换能器阵列具有较高的超声波发射效率和带宽，且单元间具有较低的串扰水平。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 换能器 阵列 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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