[发明专利]用于MEMS传感器的低功耗接口电路在审
| 申请号： | 202111215563.9 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN114006613A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 邝国华 | 申请（专利权）人： | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 主分类号： | H03K19/0175 | 分类号： | H03K19/0175;G01D5/20;G01D5/24;G01D18/00 |
| 代理公司： | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人： | 方小明 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于MEMS传感器的低功耗接口电路，低功耗接口电路包括依次电连接的压控振荡单元、波形转换单元和频率电压转换单元，MEMS传感器用于采集外部设备的物理参量，并将物理参量的变化值转换为电容变化值ΔC或电感变化值ΔL，压控振荡单元用于将电容变化值ΔC或电感变化值ΔL转换为频率变化值ΔF，波形转换单元用于将频率变化值ΔF转换为时间周期变化值ΔT，频率电压转换单元用于依据时间周期变化值ΔT，呈时间周期变化地输出测量电压VO；本发明的电路结构简单，对工作环境要求较低，且能够对测量的灵敏度、动态范围和标称点进行灵活调节，有效在单一低功耗接口电路上满足对MEMS传感器为电容式传感器或电感式传感器的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 传感器 功耗 接口 电路 | ||
【主权项】：
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