[发明专利]晶圆掺杂检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 202111216939.8 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN114216869A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 王群;葛永晖;龚逸品;董彬忠;李鹏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种晶圆掺杂检测系统及检测方法，属于半导体技术领域。晶圆掺杂检测系统包括真空样品仓、激光探头、光谱收集设备和处理器，激光探头和光谱收集设备位于真空样品仓内；真空样品仓，用于为样品掺杂浓度检测提供真空环境；激光探头，用于在检测样品掺杂浓度时发射激光达到样品表面；光谱收集设备，用于收集样品反射的激光，并根据反射的激光获取束缚激子信号及自由激子信号，将束缚激子信号及自由激子信号发送至处理器；处理器用于，根据光谱收集设备发送的束缚激子信号及自由激子信号，确定样品的掺杂类型和掺杂浓度。采用本公开提供的晶圆掺杂检测系统可以较为准确的检测晶圆的掺杂浓度和掺杂类型。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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