[发明专利]一种硅通孔阻挡层碱性抛光液有效
| 申请号： | 202111219053.9 | 申请日： | 2021-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN113913115B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 姜鉴哲;王晗笑;宋英英;张琳 | 申请（专利权）人： | 博力思（天津）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/768 |
| 代理公司： | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 | 代理人： | 付长杰 |
| 地址： | 300350 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明为一种硅通孔阻挡层碱性抛光液，包括甘氨酸、精氨酸和唑类化合物，所述精氨酸的加入质量至少为甘氨酸加入质量的1倍，精氨酸含有胍基，精氨酸里的胍基与唑类化合物联合使用时，调配钽和铜的去除速率比。精氨酸分子结构既包含氨基、羟基提供螯合作用，同时精氨酸自带包含胍基，且为碱性氨基酸，作为钽的速率提升剂加速去除钽，通过调整精氨酸中的胍基含量调节金属钽和铜的去除速率选择比，唑类化合物既与氨基、羟基作用，也与胍基作用，既能起到缓蚀金属铜的作用，还能起到良好的修正碟形坑作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅通孔 阻挡 碱性 抛光 | ||
【主权项】：
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