[发明专利]一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺在审
| 申请号： | 202111226876.4 | 申请日： | 2021-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN114019673A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 虞益挺;周奎;单政;张倩;王谢君;王飞;景夏雷 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学宁波研究院 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 高瑞霞 |
| 地址： | 315000 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺，属于智能光电芯片和半导体领域，主要涉及微机电系统、微纳光学、电磁驱动等技术。芯片主要结构包括可动镜体1、固定镜体2、可动反射镜3、固定反射镜4,支撑薄膜5、键合层6、永磁体7、间隔层8、PCB驱动/控制电路9和封装外壳10。本发明提出的电磁驱动珐珀滤波芯片可实现双向宽幅线性调制，增大珐珀滤波芯片调谐范围，克服其他驱动式的珐珀滤波芯片调制范围有限、非线性驱动和响应速度慢等缺点。所采用的MEMS圆片级体加工技术可实现大孔径珐珀滤波芯片的低成本、高保真和高效率加工。本发明所提出的电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级加工技术将促进相关实际应用系统的发展与推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁 驱动 滤波 芯片 及其 圆片级 制作 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西北工业大学宁波研究院，未经西北工业大学宁波研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111226876.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：显示面板及显示面板制作方法
- 下一篇：一种抑制霉菌的肉制品腌制工艺
