[发明专利]一种侧壁扫描探针及其加工方法有效
| 申请号： | 202111229566.8 | 申请日： | 2021-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN114088981B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 张宪民;杨倬波;李凯;冯柯;李海 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 周春丽 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种侧壁扫描探针及其加工方法，所述扫描探针包括悬臂、磁粒球和锥形针尖。悬臂前端呈三角箭头形，箭头形前端通过薄壁部分和悬臂支撑部分连接，悬臂支撑部分上部设置有金属反射层。锥形针尖位于悬臂箭头形前端下部，且锥形针尖通过细长棱柱和棱台连接，棱台和悬臂箭头形前端相连。磁粒球位于箭头形前端上部；本发明还提供了锥形针尖和硅基箭头式悬臂探针的加工方法。本发明采用微纳加工工艺实现箭头式悬臂探针制作，箭头式悬臂使观察定位更精确和方便，中间薄壁连接部分配合线圈磁场对磁粒球的偏转控制允许箭头式前端实现一定角度的偏转，以此实现对样品侧壁的形貌成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 侧壁 扫描 探针 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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