[发明专利]一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统在审
申请号: | 202111229796.4 | 申请日: | 2021-10-22 |
公开(公告)号: | CN113832528A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 朱翔宇 | 申请(专利权)人: | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
主分类号: | C25D21/06 | 分类号: | C25D21/06;C25D21/08;C25D21/18;H01L21/67;C25D17/00;C25D7/12 |
代理公司: | 合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙) 34165 | 代理人: | 汪守勇 |
地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统。所述可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统,包括:电镀槽、PP滤芯、活性炭滤芯、通气设备和吸泵;其中,所述通气设备通过进气管与所述活性炭滤芯连通,所述进气管上设置有第一阀门,所述活性炭滤芯的一侧设置有排出管。本发明提供一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统,通过设置电镀系统,除了具备基本的电镀功能之外,还具备对电镀液自动循环过滤以及自动清洗过滤、自动回流功能,在清洗电镀液时,只需控制吸泵、以及各阀门开启关闭即可,无需工作人员进行过多的手动操作,在对电镀液清洗过滤之后,通过通气设备向活性炭滤芯内部通入空气,利用内部压强将内部残留电镀液快速推动至电镀槽中,进而实现电镀液的快速回流。 | ||
搜索关键词: | 一种 快速 清洗 电镀 金凸块 系统 | ||
【主权项】:
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