[发明专利]一种高精度直线驱动气浮定位平台在审
| 申请号： | 202111230744.9 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN113977294A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 赵恩凯;徐礼江 | 申请（专利权）人： | 苏州舜迈机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B23Q1/01 | 分类号： | B23Q1/01;B23Q1/38;H02K7/14 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种高精度直线驱动气浮定位平台，花岗石基座上分别设置有Y1轴气浮轨道、Y1轴直线电机以及Y2轴直线电机，Y1轴气浮轨道的侧面设置有Y1轴气浮轴承，Y1轴气浮轴承的气浮面上设有永久磁铁、二者共同构成气浮滑块，Y1轴直线电机与Y2轴直线电机之间设置有X轴横梁，Y1轴气浮轴承与X轴横梁之间通过角度微调块实现非刚性连接；在使用过程中，Y1轴气浮轴承和Y1轴气浮轨道之间的相斥力与永久磁铁和Y1轴气浮轨道之间的吸附力达到动态平衡。本发明采用单侧气浮支撑结构克服了机构卡死问题，还利用角度微调块实现了非刚性连接方式，并使用直线电机组合的方式杜绝了机构的旋转问题，确保了整体的稳定性和精度保持性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 直线 驱动 定位 平台 | ||
【主权项】：
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