[发明专利]一种半导体生产用清洗设备

摘要

本发明公开了一种半导体生产用清洗设备，所述半导体生产用清洗设置包括：底板和所述底板上表面两侧呈竖直设置的两个支撑柱，所述支撑柱用于对所述半导体生产用清洗设置中零部件起到支撑与固定；驱动部件，所述驱动部件包括安装架，所述安装架呈口字形设置，且固定在两个所述支撑柱之间，本发明在夹持部件旋转的时固定在旋转杆上的行星齿与固定集水腔上的太阳齿啮合，在太阳齿不动的情况下，夹持部件在围绕集水腔旋转的同时自身也在转动，能够配合集水腔上的雾化喷口喷出的清洗液，达到对半导体板更好的清洗效果。