[发明专利]一种用于扫描电镜拍摄硅基负极材料的定位处理方法在审
| 申请号： | 202111236040.2 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN114113182A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 范海艳;方婷婷;胡淑婉;张峥 | 申请（专利权）人： | 合肥国轩高科动力能源有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2251;H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 韩燕 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于扫描电镜拍摄硅基负极材料的定位处理方法，首先在扫描电镜样品台上粘接双面导电胶带，然后将硅基负极材料的待扫描样品粘接于双面导电胶带的上表面，待扫描样品完全覆盖双面导电胶带，且双面导电胶带留有未粘接环形区域，最后在待扫描样品的边缘处固定导电式边缘封闭件，导电式边缘封闭件将待扫描样品的边缘部分进行封盖，且导电式边缘封闭件粘接于待扫描样品外周、双面导电胶带的未粘接环形区域上。本发明在不损伤待扫描样品本身，不影响待扫描样品自身表面形貌下得到清晰的扫描电镜图片，为分析硅基负极材料性能提供可靠的依据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描电镜 拍摄 负极 材料 定位 处理 方法 | ||
【主权项】：
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