[发明专利]MEMS闭环加速度计及其控制方法在审
| 申请号： | 202111239154.2 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN114280330A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 郭梅寒;张磊 | 申请（专利权）人： | 慧石（上海）测控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08;G01P1/00 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 李小东 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS闭环加速度计及其控制方法，其中，MEMS闭环加速度计包括：MEMS敏感结构，包括质量块、与质量块连接驱动电容以及检测电容；用于将检测电容的电容信号转换为电压信号的检测电路模块；与检测电路模块连接的反馈控制电路模块；检测电容与检测电路模块之间形成电容检测回路，驱动电容、检测电路模块与反馈控制电路模块之间形成电压反馈控制回路；以及用于切换电容检测回路以及电压反馈控制回路的开关控制模块，开关控制模块包括第一固定电容、与电容检测回路和电压反馈控制回路均连接的第一开关以及与第一固定电容和电容检测回路均连接的第二开关。通过上述方式，能够提高驱动电容的大小，增大反馈静电力。 | ||
| 搜索关键词： | mems 闭环 加速度计 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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