[发明专利]一种铝旋转靶材的连接方法有效
| 申请号： | 202111241638.0 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113909642B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;宋阳阳;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K9/16 | 分类号： | B23K9/16;B23K9/235;B23K9/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝旋转靶材的连接方法，所述铝旋转靶材包括铝管和铝合金法兰端头，所述铝管的两端设有内螺纹，所述铝合金法兰端头上设有外螺纹，通过所述内螺纹与所述外螺纹将所述铝管和所述铝合金法兰端头进行螺纹连接，将所述铝管和所述铝合金法兰端头的连接处进行氩弧焊，得到铝旋转靶材；本发明采用螺纹连接和氩弧焊的方法制备了靶材端头不易变形的铝旋转靶材，提高铝旋转靶材在高功率下的溅射效率，进而提高产量；且方法简单，稳定性好，成本低，易于产业化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 连接 方法 | ||
【主权项】：
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