[发明专利]一种晶圆加工制程设备端气体供应用FFKM密封圈及其制备方法在审
| 申请号： | 202111242064.9 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113861597A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 张世鑫 | 申请（专利权）人： | 宁波德固赛密封科技有限公司 |
| 主分类号： | C08L27/18 | 分类号： | C08L27/18;C08L23/06;C08K7/26;C08K3/04;C08K3/22 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 陈彦朝 |
| 地址： | 315300 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆加工制程设备端气体供应用FFKM密封圈，制备的原料包括FFKM原胶、TR131和填充材料，所述填充材料包括炭黑、白炭黑和GO中的一种或多种。本发明采用一定量FFKM原胶、辅料按照比列配合，在开炼机上进行混炼，得到性能优异的新型晶圆加工制程设备端气体供应用密封圈FFKM混炼胶，然后再进行一段、二段硫化成型，成为FFKM密封圈成品。FFKM密封圈的原料选型，配方及加工工艺，解决了材料之间互补性等问题，其FFKM密封圈具物理机械性能好、压变性能优良、耐腐蚀介质及耐强氧化性与强还原性介质性能优良，耐高温等优点。广泛用于晶圆加工制程设备端气体供应体系密封。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 设备 气体 应用 ffkm 密封圈 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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