[发明专利]电子压缩感知超快成像装置及制备方法有效
申请号: | 202111246377.1 | 申请日: | 2021-10-26 |
公开(公告)号: | CN114023624B | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 梁文锡;胡春龙 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/08 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 胡秋萍 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种电子压缩感知超快成像装置及制备方法,属于超快电子显微成像领域,装置包括:依次设置且密封连接的电子枪、测量腔、扫描腔和电子成像记录单元,以及样品架和扫描极板;金属掩模板,位于扫描腔内且介于样品架和扫描极板之间,包括采用伪随机二值矩阵分布的镂空像元和非镂空像元,非镂空像元中各处均连通;电子枪产生电子束并射入样品表面,以生成包含样品结构信息的电子斑;部分电子斑通过镂空像元输出,其余电子斑被非镂空像元阻挡,以对电子斑编码;编码后的电子斑经扫描极板偏转后,在电子成像记录单元中成像;记录的电子斑解码后得到含时间分辨的动态图像。可单次成像获取电子显微成像领域中非可逆过程的超快动态图像信息。 | ||
搜索关键词: | 电子 压缩 感知 成像 装置 制备 方法 | ||
【主权项】:
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