[发明专利]简易高效的晶片分割装置及其方法在审
| 申请号： | 202111252049.2 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN113977790A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 张守超;陈洪雨;陈敏婷;高森单;杨羽;张玲;朱飞;刘枝朋 | 申请（专利权）人： | 天津城建大学 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 李文洋 |
| 地址： | 300384*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶片分割装置技术领域，特别是一种简易高效的晶片分割装置，包括两套相同的压力板组，所述压力板组包括上压力板、下压力板、橡胶薄片和压力传感器，所述上、下压力板对称开有通孔，螺栓穿过通孔，所述橡胶薄片嵌套在螺栓上，并位于上、下压力板之间，所述压力传感器嵌套在螺栓上并位于所述上压力板之上，压力传感器的上方安装有手拧螺母。本装置使晶片简易高效分割，无损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 简易 高效 晶片 分割 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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