[发明专利]一种适用于大范围复杂曲面物体的太赫兹扫描成像装置

摘要

本发明公开了一种适用于大范围复杂曲面物体的太赫兹扫描成像装置，其包括三维移动单元、六足位移台、激光轮廓仪、太赫兹镜头、主控制器和上位机，三维移动单元将检测点XY坐标信息实时发送给主控制器，激光轮廓仪用于实时测量检测点与太赫兹镜头的距离和法线角度并发送给主控制器，主控制器根据接收到的距离和角度信息调整三维移动单元和六足位移台，矫正太赫兹镜头的Z向位移和XYZ角度，用于调整任一检测点位于太赫兹镜头焦点处且太赫兹波垂直入射于该检测点，上位机与主控制器连接，用于将获取的检测点坐标信息和该检测点的太赫兹信号一一对应进行三维成像。激光轮廓仪用以矫正太赫兹镜头的Z向位移和XYZ角度，保证太赫兹波垂直入射每一个检测点。