[发明专利]一种超硬TiC涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202111253591.X | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114086115A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 刘亮亮;吴忠振;崔岁寒;马正永 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 李可 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种超硬TiC涂层及其制备方法。所述方法包括：步骤A、在第一偏压下对基底进行清洗；步骤B、在惰性气体气氛下对金属靶进行磁控溅射放电，采用第二偏压在所述基底表面沉积金属过渡层；步骤C、逐渐通入含C气体，对金属Ti靶和含C气体进行磁控溅射放电，采用第三偏压在所述金属过渡层表面沉积TiC涂层前驱体；步骤D、对所述TiC涂层前驱体进行退火处理，制备得到超硬TiC涂层。本发明中，高能粒子调控和离子轰击作用下，实现了具有纳米晶和非晶混合相结构的TiC涂层前驱体沉积，并通过退火处理，诱导产生了高密度位错，层错及超晶格等微观结构，这些独特的微观结构将TiC涂层材料的硬度提升到超硬状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tic 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学深圳研究生院，未经北京大学深圳研究生院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111253591.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
