[发明专利]一种用于连续离子层吸附的化学液相沉积成膜的设备

摘要

本发明涉及一种用于连续离子层吸附的化学液相沉积成膜的设备，其包括：反应腔体，其内具有反应腔室和样品台，位于所述样品台的两侧分别设置有出液通孔，两个所述出液通孔经管路并联后作为所述反应腔体的出液端；反应前驱体溶液循环管路，其输出端与所述反应腔体的顶部连接，将反应前驱体溶液注入所述反应腔室内，使位于所述样品台上的基片材料浸入所述反应前驱体溶液内；所述反应前驱体溶液循环管路的输入端与所述出液端连接；清洗循环管路，其输出端与所述反应腔体的顶部连接，将清洗液注入所述反应腔室内，用于清洗所述基片材料；所述清洗循环管路的输入端与所述出液端连接。本发明能提高薄膜制备过程的可重复性、扩大薄膜的制备面积、提高薄膜的质量。