[发明专利]一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法在审
申请号: | 202111255505.9 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN113957380A | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | 王启民;杨阳;张世宏;郑军;周祥;门尚武 | 申请(专利权)人: | 安徽工业大学 |
主分类号: | C23C8/38 | 分类号: | C23C8/38;C23C8/02 |
代理公司: | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人: | 王林 |
地址: | 243032 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明涉及等离子体渗氮技术领域,具体涉及一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法:对试样抛光至镜面并清洗、烘干后装载入炉内,打开真空泵,抽真空至5.0×10 |
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搜索关键词: | 一种 电流 辉光 弧光 等离子体 组合 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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