[发明专利]一种薄膜折射率检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202111263591.8 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113959984A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 郝成龙;谭凤泽;朱健 | 申请（专利权）人： | 深圳迈塔兰斯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 林志鹏 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区新安街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种薄膜折射率检测装置及检测方法，所述薄膜折射率检测装置，其特征在于，包括依次设置的光源、超表面结构和探测器；超表面结构包括基底和设置在基底上的纳米结构层，且超表面结构用于汇聚光源的光，且用于承载待测折射率的薄膜；探测器至少用于检测光源通过超表面结构后的第一焦距，以及检测光源通过设置有待测薄膜的超表面结构后的第二焦距。本发明提供的薄膜折射率检测装置仅包括光源、超表面结构和探测器，包含光学元件较少，且光路简单，检测装置的制造成本低，稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 折射率 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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