[发明专利]等离子体产生装置及方法在审

专利信息
申请号: 202111266843.2 申请日: 2021-10-28
公开(公告)号: CN113966062A 公开(公告)日: 2022-01-21
发明(设计)人: 王杰;张文龙;邰寒松;张奥男;黄云彪 申请(专利权)人: 重庆川仪自动化股份有限公司
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 李铁
地址: 400700*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明提供了一种等离子体产生装置及方法,所述等离子体产生装置至少包括:同轴线谐振器,具有开路端;波导谐振器,至少具有两个开口,与同轴线谐振器导电连接,且同轴线谐振器的开路端与波导谐振器的一个开口对接,以使电磁波能在同轴线谐振器和波导谐振器中同时震荡。本发明的等离子体产生装置结合同轴线谐振器与波导谐振器进行设计,同轴线谐振器的开路端与波导谐振器的一个开口对接,使得电磁波能在同轴线谐振器和波导谐振器中同时震荡,强化电磁波的震荡效果,对离开同轴线表面的电磁波进行增强,强化其对等离子体的耦合作用,增强其抗水汽干扰能力。
搜索关键词: 等离子体 产生 装置 方法
【主权项】:
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