[发明专利]一种掩模板、显示面板以及制作方法有效
申请号: | 202111283309.2 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN114122230B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 段淼 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L33/46 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 熊恒定 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供一种掩模板、显示面板以及制作方法;该掩模板的掩模主体包括多个功能单元区,各功能单元区包括第一区域、第二区域以及第三区域,第二区域包括开孔子区和与开孔子区相邻的阻挡子区,掩模主体在功能单元区内包括第一阻挡部、第二阻挡部、以及第三阻挡部,分别对应设置在第一区域、第二区域的阻挡子区、以及第三区域,且第二阻挡部分别与第一阻挡部和第三阻挡部连接。该掩模板采用半环形镂空区设计,确保掩模板上对应的像素区上方金属有足够的支撑强度,且可以直接在黑色挡墙上蒸镀图案化的金属层,工艺简单且降低光罩成本,解决了当前通过光刻工艺制备金属Bank存在的制备难度大的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 模板 显示 面板 以及 制作方法 | ||
【主权项】:
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