[发明专利]一种掩模板、显示面板以及制作方法有效

专利信息
申请号: 202111283309.2 申请日: 2021-11-01
公开(公告)号: CN114122230B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 段淼 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L33/50 分类号: H01L33/50;H01L33/46
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 熊恒定
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请提供一种掩模板、显示面板以及制作方法;该掩模板的掩模主体包括多个功能单元区,各功能单元区包括第一区域、第二区域以及第三区域,第二区域包括开孔子区和与开孔子区相邻的阻挡子区,掩模主体在功能单元区内包括第一阻挡部、第二阻挡部、以及第三阻挡部,分别对应设置在第一区域、第二区域的阻挡子区、以及第三区域,且第二阻挡部分别与第一阻挡部和第三阻挡部连接。该掩模板采用半环形镂空区设计,确保掩模板上对应的像素区上方金属有足够的支撑强度,且可以直接在黑色挡墙上蒸镀图案化的金属层,工艺简单且降低光罩成本,解决了当前通过光刻工艺制备金属Bank存在的制备难度大的技术问题。
搜索关键词: 一种 模板 显示 面板 以及 制作方法
【主权项】:
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