[发明专利]电缆长度调节装置在审
| 申请号： | 202111283921.X | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN114019206A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 赵亮;王敬杨;李金良 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R15/00 | 分类号： | G01R15/00;G01R21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电缆长度调节装置，包括：输入端，用于通过电缆与射频电源连接；输出端，用于通过电缆与匹配器连接；线长调节机构，用于调节连接在输入端与输出端之间电缆的长度；控制器，用于控制线长调节机构将连接在输入端与输出端之间电缆的长度依次调节至多个预设的检测长度，并获取每个检测长度对应的射频信号的反射功率，将对应的反射功率最低的检测长度确定为目标长度。在本发明中，电缆长度调节装置能够自动改变其内部连接在输入端与输出端之间的电缆长度，并将最低反射功率对应的电缆长度确定为射频电源与匹配器之间的最佳接线长度，提高了调整射频电源与匹配器之间接线长度的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电缆 长度 调节 装置 | ||
【主权项】：
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