[发明专利]一种具有超高红外透射调制性能的相变材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111284045.2 申请日: 2021-11-01
公开(公告)号: CN114047565B 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 胡超权;崔梦茜;龙北红;郑伟涛 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: G02B1/00 分类号: G02B1/00;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58
代理公司: 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 代理人: 徐冬冬
地址: 130000 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明属于光学功能薄膜材料技术领域,具体涉及一种具有超高红外透射调制性能的相变材料及其制备方法,该相变材料是具有Sn置换Ge固溶体的菱方相Ge‑Sn‑Te薄膜材料,所述薄膜材料的化学结构式为Ge1‑xSnxTe,其中x=0.05‑0.3;制备方法采用纯GeTe靶和纯SnTe靶两靶磁控共溅射而成,具体包括以下步骤:将两靶材分别安装在磁控射频溅射靶中,采用半导体为衬底;抽真空,通入高纯Ar气;控制两靶材的溅射功率,在基底上沉积得到的薄膜材料即为Ge‑Sn‑Te薄膜材料。本发明设计科学合理,制备的相变材料在红外波段不但具有低的结晶态透射率和高的非晶态透射率,还具有超高的红外透射调制性能,有望在红外激光防护及伪装型防激光窗口等领域使用。
搜索关键词: 一种 具有 超高 红外 透射 调制 性能 相变 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
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