[发明专利]GCPW校准件的制备方法及GCPW校准件在审
| 申请号： | 202111284370.9 | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN114113960A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王一帮;吴爱华;刘晨;梁法国;霍晔;栾鹏;孙静;李彦丽 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 彭竞驰 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种GCPW校准件的制备方法及GCPW校准件。该方法包括：确定传输线的横截面尺寸；根据横截面尺寸和GCPW校准件对应的理论最高频率，确定过孔尺寸，多个过孔均匀设置在衬底正面的上地板上、下地板上、衬底以及衬底背面的接地金属上，且在上地板或下地板、衬底以及接地金属的位置对应，形成通孔；对横截面尺寸进行优化，得到最优横截面尺寸；根据最优横截面尺寸和过孔尺寸进行半导体工艺加工，并对加工完成的校准件中的负载校准件的电阻进行激光修阻，对修阻后所有校准件进行定值，得到GCPW校准件。本发明能够减少多模传输线影响，减小系统校准系统误差。 | ||
| 搜索关键词： | gcpw 校准 制备 方法 | ||
【主权项】：
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