[发明专利]一种单晶硅材料及其在制备异形件中的用途在审
| 申请号： | 202111287350.7 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN114016131A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 吕金虎 | 申请（专利权）人： | 东海县太阳光新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B33/10;H01L21/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 张传宏 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅材料及其在制备异形件中的用途，属于单晶硅材料技术领域，具体涉及一种单晶硅材料的制备方法，将单晶硅片分别采用氧化清洗液、氢氟酸清洗液及腐蚀液进行浸泡处理制备得到金字塔微结构绒面单晶硅材料；单晶硅片经浸泡处理后均采用去离子水冲洗；腐蚀液中含有碳酸钾、氟化钾和1H‑吡唑‑3‑基尿素。本发明进一步在银纳米粒子存在的条件下，使用含有氢氟酸和双氧水的催化腐蚀液对金字塔微结构绒面单晶硅材料进行腐蚀处理及除银处理得到金字塔型纳米多孔单晶硅材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 材料 及其 制备 异形 中的 用途 | ||
【主权项】：
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