[发明专利]一种高纯金属真空升华的除杂方法在审
申请号: | 202111288177.2 | 申请日: | 2021-11-02 |
公开(公告)号: | CN113999981A | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 黄杰杰;何志达;李清宇 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | C22B9/04 | 分类号: | C22B9/04;C22B17/02;C22B17/06;C22B19/32;C22B30/02;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/52;C01B19/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 付丽 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种高纯金属真空升华的除杂方法,包括:将石英舟进行镀碳处理,得到镀碳石英舟;将待除杂物料放入镀碳石英舟中进行升华处理。本发明提供了一种可以去除产品表面杂质的方法,通过设定合理的真空度、加热温度、恒温时间,通过升华方式,使产品表面的杂质随锑蒸气冷凝至冷凝坩埚;本发明提供的方法可以去除锑表面的碳、氧、硅、钙等杂质,生产出来的产品表面光亮,无氧化物,呈碲金属本身。本发明提供的高纯锑真空升华方法,工艺简单、成本低、效率高、提纯效果好。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 金属 真空 升华 方法 | ||
【主权项】:
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