[发明专利]一种高纯金属真空升华的除杂方法在审

专利信息
申请号: 202111288177.2 申请日: 2021-11-02
公开(公告)号: CN113999981A 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 黄杰杰;何志达;李清宇 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: C22B9/04 分类号: C22B9/04;C22B17/02;C22B17/06;C22B19/32;C22B30/02;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/52;C01B19/02
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 付丽
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种高纯金属真空升华的除杂方法,包括:将石英舟进行镀碳处理,得到镀碳石英舟;将待除杂物料放入镀碳石英舟中进行升华处理。本发明提供了一种可以去除产品表面杂质的方法,通过设定合理的真空度、加热温度、恒温时间,通过升华方式,使产品表面的杂质随锑蒸气冷凝至冷凝坩埚;本发明提供的方法可以去除锑表面的碳、氧、硅、钙等杂质,生产出来的产品表面光亮,无氧化物,呈碲金属本身。本发明提供的高纯锑真空升华方法,工艺简单、成本低、效率高、提纯效果好。
搜索关键词: 一种 高纯 金属 真空 升华 方法
【主权项】:
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