[发明专利]气密性检测设备及其工艺

摘要

本发明公开了一种气密性检测设备及其工艺，该设备包括：真空箱、多个封闭件、检测管路、多个阀门、真空源以及检漏仪。真空箱具有多个分体腔以及与多个分体腔相连的通腔，分体腔用于放置待检测工件并具有连通通腔的开口。封闭件与分体腔数量相同，且一一对应设置，各封闭件可操作地密封对应的分体腔的开口。检测管路具有主管道、以及多个与主管道相连的分管道，多个分管道与多个分体腔一一对应设置，且各分管道用于连接至对应的分体腔内的待检测工件上。阀门与分管道数量相同，且一一对应，各阀门用于连通或断开其所在的分管道和主管道。真空源与通腔相连。检漏仪与通腔相连。本发明既可提升检测效率，又可判断具体的不合格工件。