[发明专利]着色树脂组成物及其制造方法与光阻结构的制造方法

摘要

本揭露提供一种具有穿透值T％的着色树脂组成物，其包括起始剂、着色剂、碱可溶性树脂、聚合性不饱和化合物、以及溶剂。起始剂的固含量为S％且具有吸收值A％。该吸收值、该固含量、该穿透值与汞灯光源的光源照度E％之间的关系符合以下公式：Σ(起始剂){∫360‑460nm[起始剂的吸收值(A％)×着色树脂组成物穿透值(T％)×光源照度(E％)]×起始剂的固含量(S％)}×10000≧20，其中该光源照度E％在汞灯光源发出波长为365nm的光时为100％。根据本揭露的着色树脂组成物所形成的光阻结构的整体和边缘的廓形都具有可接受或良好的完整度。