[发明专利]一种用于存储器芯片封装的键合丝及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111296849.4 申请日: 2021-11-04
公开(公告)号: CN113725188A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 陈童心;周晓光;向翠华;张虎;林成斌 申请(专利权)人: 北京达博有色金属焊料有限责任公司
主分类号: H01L23/49 分类号: H01L23/49;H01L21/48;C22C9/00;C22F1/08;C22F1/02;C25D7/06;C25D5/10;C25D5/50;C25D5/34;B21C1/02;B23P15/00
代理公司: 中国有色金属工业专利中心 11028 代理人: 范威
地址: 100012*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种用于存储器芯片封装的键合丝及其制备方法,所述键合丝结构包括铜芯,所述铜芯外表面自下而上依次电镀有钯层、金层;所述键合丝成分按重量百分比计包括:97.17‑98.95%铜、0.65‑1.73%钯、0.35‑1.05%金、19.4‑39.6ppm的铂,余量为不可避免杂质;其中,铜芯成分按重量百分比计包括:铜99.99%、钯5‑15ppm、金10‑30ppm、铂20‑40ppm,余量为不可避免杂质。所述方法包括:配料、熔铸、粗拉、中间退火、微拉、表面处理、电镀金、钯、退火。本发明提供的键合丝具有电热性能良好、耐蚀性好、可靠性高、封装作业性好、焊点结合性好等优点。本发明的方法能够有效缩短生产周期,提高生产效率。
搜索关键词: 一种 用于 存储器 芯片 封装 键合丝 及其 制备 方法
【主权项】:
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