[发明专利]一种内喷液旋转阴极掩膜电解加工方法及实现装置有效

专利信息
申请号: 202111297131.7 申请日: 2021-11-03
公开(公告)号: CN113878185B 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 王峰;伍效凯 申请(专利权)人: 南京农业大学
主分类号: B23H3/00 分类号: B23H3/00;B23H3/10;B23H11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210095 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种内喷液旋转阴极掩膜电解加工方法及实现装置,属于电解加工技术领域。包括回转工作台、端盖、回转工件、掩膜板、螺钉、内喷液阴极、电主轴、绝缘圆筒、垫片、压环,其特点在于带有叶序分布通液孔的内喷液阴极与覆盖掩膜板的回转工件作转动同时作相对往复的线性运动,能够消除电场边缘效应、减小电解液对掩膜板的侧向冲刷,提高掩膜电解加工的定域性和加工一致性;内喷液旋转阴极与不同形状掩膜板相互匹配,能够适用于回转工件表面微凹坑、微沟槽和微流道的高一致性加工,具较好的加工适应性。
搜索关键词: 一种 内喷液 旋转 阴极 电解 加工 方法 实现 装置
【主权项】:
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