[发明专利]一种含铜蚀刻废液回收装置和含铜蚀刻废液回收方法有效
申请号: | 202111297278.6 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN113737184B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 陈福泰;解迪;郝福锦;褚永前 | 申请(专利权)人: | 清大国华环境集团股份有限公司;北京清大国华环境技术有限公司;宁夏宁东清大国华环境资源有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C01B7/01;C01G3/10 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 李爱民 |
地址: | 100089 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请具体公开了一种含铜蚀刻废液回收装置和含铜蚀刻废液回收方法,含铜蚀刻废液回收装置包括蒸发结晶机构,粉末回收机构,喷淋回收机构;所述蒸发结晶机构包括壳体,壳体内设置有支撑柱,支撑柱上转动连接有加热板,加热板上方设置有结晶喷淋头,壳体内还设置有真空泵,所述粉末回收机构包括刮刀;所述喷淋回收机构包括喷淋回收仓,喷淋回收仓内设置有回收喷淋头。含铜蚀刻废液回收方法包括以下步骤,S1原液检测;S2使用硫酸和氢氧化铜调节废液中铜离子浓度与硫酸根离子浓度相等;S3使用含铜蚀刻废液回收装置处理废液。本申请的处理方法具有简化含铜废液处理步骤的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 废液 回收 装置 方法 | ||
【主权项】:
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