[发明专利]一种光干涉型集成微位移传感结构及其检测方法有效
| 申请号： | 202111299844.7 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114001661B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 张萌颖;王思蕴;赵全亮;何广平;赵磊;苏婷婷 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵兴华 |
| 地址： | 100144 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光干涉型集成微位移传感结构及其检测方法，针对静态及动态微位移量及其派生物理量的检测。通过光栅耦合将高精度光干涉检测方法引入高度集成的传感结构中。利用集成的可驱动光栅根据需要灵活精确地对输出干涉光信号附加相位调制，同时又配置集成应变传感单元检测实际的附加相位调制用于校正。检测方法中通过控制光栅位移给输出干涉光信号精确附加所需相位调制，采用解决光干涉型传感技术静态工作点问题的传感信号解调方法，相比于现有光栅干涉型传感器通常采用的近似线性解调方法，提高了微位移检测的稳定性与准确性。本发明实现了集成化微位移检测及其光干涉信号的高性能解调，尤其适用于工作条件复杂的高精度便携式检测设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉 集成 位移 传感 结构 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方工业大学，未经北方工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111299844.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
