[发明专利]一种双气氛自适应反应溅射制备成分渐变复合涂层的方法

摘要

本发明提出一种双气氛自适应反应溅射制备成分渐变复合涂层的方法，在与目标靶材端部相邻的溅射室腔体部位设置有与单色仪相连的光导管；所述单色仪经光导管导入靶面等离子体区发射光谱，并在分辨其强度后把光谱强度信号发送至反应气氛控制器，所述反应气氛控制器根据靶面等离子体区光谱强度控制自适应反应的N2供给量；所述溅射室还与由质量流量计控制的O2气路相连；所述质量流量计通过控制O2气体输入量来干扰目标靶材处的靶面等离子体区发射光谱强度，使反应气氛控制器按相同特征光谱谱线强度的标准对自适应反应的N2供给量进行调整，从而自适应地匹配靶面等离子体区N2与O2的比例；本发明使反应气体可按既定的反应程度连续自适应匹配气体比例。