[发明专利]一种可双面压印的纳米压印设备在审
| 申请号： | 202111315560.2 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN113885296A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种可双面压印的纳米压印设备，包括：输送装置，自所述输送装置的左侧向所述输送装置的右侧设定为输送方向，在输送装置上连接有吸附固定装置，所述吸附固定装置用于吸附固定第一模板，在所述输送装置上方，自所述输送装置的左侧向所述输送装置的右侧顺次设置有第一滴胶装置、第一压印装置、第二滴胶装置、第二压印装置以及紫外固化装置，所述第一压印装置用于固定基片，所述第二压印装置用于固定第二模板。本发明能实现单面压印和双面压印，也可实现软压硬，软压软等压印模式，压印过程全自动化，提高压印效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 压印 纳米 设备 | ||
【主权项】：
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