[发明专利]一种具有双面压印功能的纳米压印设备有效
| 申请号： | 202111316483.2 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN113934111B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有双面压印功能的纳米压印设备，包括：压印板、对位单元和曝光单元，所述压印板包括第一压印板，第二压印板和第三压印板，所述对位单元位于所述设备腔体内部，并固定在设备上方；所述第一压印板位于所述设备腔体内部上方、对位单元下方；所述第三压印板位于设备腔体内下方、对位单元下方；所述第二压印板位于设备腔体内下方、所述第三压印板的一侧，所述曝光单元位于所述第三压印板的下方；还包括基片、工作模具。本发明的有益效果是：第一压印板，第二压印板和第三压印板，结合对位单元，实现基片自动动对位和旋转，既可以完成单面压印动作，也可完成双面压印动作；曝光单元发出紫外光将纳米压印胶固化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 双面 压印 功能 纳米 设备 | ||
【主权项】：
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