[发明专利]一种屏蔽拉伸和弯曲干扰的柔性压力传感器及其制备方法有效
申请号: | 202111318319.5 | 申请日: | 2021-11-09 |
公开(公告)号: | CN114199419B | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 郭家杰;黄斌;薛宏伟;刘子杰;郭楚璇 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;A61B5/103;A61B5/00 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 尚威;孔娜 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明属于柔性传感器相关技术领域,并公开了一种屏蔽拉伸和弯曲干扰的柔性压力传感器及其制备方法。该柔性压力传感器包括上电极和下电极,其中:上电极和下电极相对设置,上电极与下电极相对的面上涂覆有介电层,下电极与上电极相对的面上设置有多个凸峰,下电极和上电极通过凸峰与介电层粘接;在上电极上与凸峰之间的间隙相对应的位置处设置有褶皱,该褶皱降低拉伸或弯曲时上电极和下电极之间的挤压趋势,从而降低拉伸或弯曲对上电极和下电极形成的电容的影响,排除拉伸或弯曲对柔性压力传感器干扰。本发明解决压力感知过程中三维空间内的拉伸或弯曲对测量结果的干扰问题,实现多次装拆不影响传感器的压力测量功能。 | ||
搜索关键词: | 一种 屏蔽 拉伸 弯曲 干扰 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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