[发明专利]流量控制装置、流量控制方法以及程序存储介质在审
| 申请号： | 202111319208.6 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114545983A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 德永和弥;瀧尻兴太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李成必;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能以基本不发生时间延迟且以噪声大幅降低的形式得到流过下游侧阀的流体的流量，而且比以往提高响应性。所述流量控制装置包括：下游侧阀流量测定器(VFS)，测定作为流过下游侧阀(V2)的流体的流量的下游侧阀流量；以及观测器(3)，包括根据改变所述下游侧阀(V2)的开度的输入参数来推定所述下游侧阀流量的下游侧阀流量推定模型(31)，所述下游侧阀流量测定器(VFS)输出的所述下游侧阀流量的测定值与所述下游侧阀流量推定模型输出的所述下游侧阀流量的推定值的偏差被反馈到所述观测器(3)。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 装置 方法 以及 程序 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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