[发明专利]一种开放环境下气体杂质的分析检测装置及方法有效
| 申请号： | 202111319632.0 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114088690B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 袁承勋;周晨;姚静锋;周忠祥;王莹;库德利亚夫谢夫·安纳托利 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 段守富 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供一种开放环境下气体杂质的分析检测装置及方法，该装置包括等离子体发生装置、朗缪尔探针系统和可调节直流电源，可调节直流电源和朗缪尔探针系统与等离子体发生装置均连接，等离子体发生装置包括片状的阳极、阴极和电离探测器，阳极、阴极和电离探测器相互堆叠设置，阳极、阴极和电离探测器处贯穿设置有电离通孔。本发明的有益效果：能够在开放环境下更精确地对气体电离后的等离子体进行探测，进而使得气体杂质的分析更加精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开放 环境 气体 杂质 分析 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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