[发明专利]一种掩膜板清洗装置及方法

摘要

本发明公开了一种掩膜板清洗装置及方法，括可开闭清洗槽、药剂循环蒸馏部、掩膜板固定治具以及治具吊装推进机构，所述药剂循环蒸馏部通过药剂供应管道向可开闭清洗槽内的喷淋管供应对可开闭清洗槽上装载的掩膜板进行清洗洁净的药剂，所述掩膜板固定治具用于装载固定掩膜板，且掩膜板固定治具装载于旋转部上，所述治具吊装推进机构包括给进机构以及吊装机构，所述吊装机构将装载掩膜板后的掩膜板固定治具投入或者提拉出可开闭清洗槽，所述给进机构推进吊装机构平移，将掩膜板固定治具对应投入有不同种类药剂的可开闭清洗槽，可实现洁净药剂与非洁净药剂的不同比例混合对掩膜板清洗，且旋转部可实现掩膜板180°换向清洗，清洗效果好。