[发明专利]一种宽带宽阵列波导光栅在审
申请号: | 202111329798.0 | 申请日: | 2021-11-10 |
公开(公告)号: | CN113985523A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 李绍洋;王玥;王亮亮;张家顺;吴远大;安俊明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王文思 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种宽带宽阵列波导光栅,包括阵列波导光栅以及第一波导结构;阵列波导光栅包括依次光路连接的输入波导以及输入平板波导;第一波导结构设于输入波导与输入平板波导之间,第一波导结构包括呈相对设置的初始端以及末尾端,初始端光路连接至输入波导上,末尾端光路连接至输入平板波导上,自初始端朝向末尾端,第一波导结构的截面宽度呈逐渐增大设置,形成一弧型结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 宽带 阵列 波导 光栅 | ||
【主权项】:
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