[发明专利]一种修整盘小锭的制造方法及制造工具在审
| 申请号： | 202111331825.8 | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN114083452A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 于政中;潘登;张云宝;谭景林 | 申请（专利权）人： | 深圳市前海科创石墨烯新技术研究院 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B53/12;B24B53/017 |
| 代理公司： | 广东众赢专利代理事务所(普通合伙) 44423 | 代理人： | 樊宝忠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种修整盘小锭的制造方法，包括：金刚石的筛选步骤、物料的准备与放置步骤、物料的固定步骤、放置金刚石步骤、注入高分子树脂、加热固定形成步骤；本发明采用反铸工艺，金刚石顶端对齐效果更好，实际工作的金刚石数量远远高于传统修整盘，大幅提高修整效率。同时金刚石粘固更紧，不易脱落，降低损伤晶圆的风险。反铸工艺使金刚石形态也更加完好，寿命长，能大幅降低晶圆厂的成本。针对传统修整盘的缺点进行改善，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 修整 盘小锭 制造 方法 工具 | ||
【主权项】：
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