[发明专利]探测频段可调的太赫兹探测装置及制造方法、成像设备有效
| 申请号： | 202111335814.7 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113782666B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 赵自然;姜寿禄;马旭明 | 申请（专利权）人： | 同方威视技术股份有限公司;北京神目科技有限公司;清华大学 |
| 主分类号： | H01L39/02 | 分类号： | H01L39/02;H01L39/24;G01J1/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张琛 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探测频段可调的太赫兹探测装置及制造方法、太赫兹成像设备，可以应用于太赫兹检测技术领域。该探测频段可调的太赫兹探测装置，包括：衬底基板，具有相对设置的第一表面和第二表面；检测器，设置在衬底基板的第一表面，用于检测第一频段范围的太赫兹信号；可调谐滤波器，设置在衬底基板的第二表面，用于对第一频段范围的太赫兹信号进行滤波，使检测器检测到第二频段范围的太赫兹信号，第二频段范围通过加载在可调谐滤波器的偏置电压进行调节，以使第二频段范围在第一频段范围内变化。能够解决在增加太赫兹探测频段的情况下，不增加检测器数量，保证检测的可靠性，同时节约硬件成本。 | ||
| 搜索关键词： | 探测 频段 可调 赫兹 装置 制造 方法 成像 设备 | ||
【主权项】：
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